[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料

△ [19a-PB2-8] PLD法を用いたGa₂O₃薄膜結晶成長におけるバッファー層導入効果

^○福田大二¹，塩尻大士¹，山内涼輔¹，土嶺信男²，織田真也³，金子智^4,1，松田晃史¹，吉本護¹ (東工大¹，豊島製作所²，ROCA³，神奈川県産技センター⁴)

キーワード：パルスレーザー堆積法,酸化ガリウム,エピタキシャル成長