[19a-PB2-1~11] 6.4 薄膜新材料

[19a-PB2-9] 単一Ti_0.87O₂^0.52−ナノシートの絶縁・誘電特性

^○（PC）小川大輔^1,2,3，赤塚公章^1,3，福村知昭^2,3，長田実^1,3，佐々木高義^1,3，長谷川哲也^2,3,4 (物材機構¹，東大²，JST-CREST³，KAST⁴)

キーワード：酸化物ナノシート,絶縁膜,微細加工