2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

06.薄膜・表面 » 6.5 表面物理・真空

[19a-PB3-1~6] 6.5 表面物理・真空

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB3 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB3会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB3-5] 超音速分子線を用いて酸化されたSi(113)表面の解析

田中一馬1,大野真也1,小玉開1,吉越章隆2,寺岡有殿2,田中正俊1 (横国大院工1,原子力機構2)

キーワード:表面酸化,光電子分光,シリコン