[19a-PB5-1~17] 15.6 IV族系化合物

[19a-PB5-12] 4H-SiC(0001)表面酸化過程の動的シミュレーションおよび第一原理解析

^○山崎隆浩^1,2，小山洋^2,3，奈良純^1,2，清水達雄⁴，加藤弘一⁴，大野隆央^1,2,5 (物材機構¹，高効率電デバコンソーシアム²，高度情報³，東芝研究開発センター⁴，東大生産研⁵)

キーワード：SiC,酸化,C面