PDF ダウンロード スケジュール 10 いいね! 0 09:30 〜 11:30 [19a-PB5-13] AR-XPS による 4H-SiC の初期酸化過程の解明 (Ⅱ) ○笹子知弥,荒井仁,野平博司 (都市大) キーワード:シリコンカーバイド,初期酸化,X線光電子分光法