2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[19a-PB5-1~17] 15.6 IV族系化合物

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB5会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB5-13] AR-XPS による 4H-SiC の初期酸化過程の解明 (Ⅱ)

笹子知弥,荒井仁,野平博司 (都市大)

キーワード:シリコンカーバイド,初期酸化,X線光電子分光法