2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.6 IV族系化合物

[19a-PB5-1~17] 15.6 IV族系化合物

2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間9:30~11:30(PB5会場)

09:30 〜 11:30

[19a-PB5-16] ドリフト層濃度分布最適化による低抵抗SiC-SBDの実現

富永貴亮,小山皓浩,田中貴規,渡邊寛,冨田信之,山川聡 (三菱電機)

キーワード:SiC,SBD,エピタキシャル