09:30 〜 11:30
[19a-PB5-9] NF3添加酸化によるSiC熱酸化膜中のC脱離
キーワード：SiC,パワーデバイス,SiO2
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
[19a-PB5-1~17] 15.6 IV族系化合物
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB5 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB5会場)
一般セッション(ポスター講演)
15．結晶工学 » 15.6 IV族系化合物
2014年9月19日(金) 09:30 〜 11:30 PB5 (第2体育館)
ポスター掲示時間9:30～11:30(PB5会場)
09:30 〜 11:30
キーワード：SiC,パワーデバイス,SiO2