[19a-S8-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

[19a-S8-11] 多電極型大気圧プラズマ発生装置を用いた数値制御犠牲酸化法の開発

^○武居弘泰，栗生賢，松山智至，山内和人，佐野泰久 (阪大院工)

キーワード：大気圧プラズマ,プラズマ酸化,NC加工