2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

08.プラズマエレクトロニクス » 8.1 プラズマ生成・制御

[19a-S8-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

2014年9月19日(金) 09:00 〜 12:00 S8 (S8)

09:15 〜 09:30

[19a-S8-2] 様々なイオンの生成を目的とした小型ECR源開発 2

村松正幸1,大島康輔2,高橋伸明3,北條悟1,北川敦志1 (放医研1,東洋大2,住友重機3)

キーワード:ECRイオン源