[19a-S8-1~11] 8.1 プラズマ生成・制御

[19a-S8-7] RF印加電圧波形解析と中性粒子ビーム加速機構のモデル化

^○榊原康明¹，三ツ森章祥¹，菊地良幸^1,2，寒川誠二² (東京エレクトロン¹，東北大²)

キーワード：マイクロ波プラズマ,中性粒子ビーム,モデリング