[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-1] 粉体スパッタリング法による複合薄膜の作製

^○大島多美子，前田尭，田中雪，川崎仁晴，柳生義人，須田義昭 (佐世保高専)

キーワード：粉体ターゲット,複合薄膜