[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-2] 軸外しRFスパッタによる低抵抗Al添加ZnO膜の均一成膜

^○松田良信，横山宏信，小山田俊介，篠原正典 (長崎大院工)

キーワード：Al添加ZnO,軸外し成膜,RFマグネトロン