[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-3] バラン給電型マルチホローカソードプラズマを用いた低光劣化a-Si:H製膜法の開発

^○鈴木貴也，牟田浩司，西田哲，栗林志頭眞 (岐阜大院工)

キーワード：薄膜太陽電池