[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

[19a-S9-5] DLC成膜用容量結合型高周波テトラメチルシランプラズマのシミュレーション

^○小田昭紀¹，川口悟²，佐藤孝紀²，上坂裕之³，太田貴之⁴ (千葉工大¹，室蘭工大²，名大院工機械³，名城大理工⁴)

キーワード：ダイヤモンドライクカーボン,テトラメチルシラン,プラズマシミュレーション