[19a-S9-1~11] 8.3 プラズマ成膜・表面処理

△ [19a-S9-8] シリコンナノ粒子の表面化学修飾とドーピング効果

^○菅谷通宏，丁毅，周述，野崎智洋 (東工大)

キーワード：シリコンナノ粒子