[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-10] β-Ga2O3基板の結晶欠陥評価

^○永井哲也，野網健悟，中居克彦，二木登史郎 (日鉄住金テクノロジー)

キーワード：酸化ガリウム,defect,TEM