[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-14] 伝導性γ相酸化ガリウム薄膜の作製

松山慶太朗¹，^○大島孝仁¹，吉松公平¹，大友明^1,2 (東工大院理工¹，東工大元素戦略²)

キーワード：酸化ガリウム