[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-3] X線逆格子マップ測定によるc面サファイア基板上のalpha-MoO₃エピタキシャル薄膜の結晶構造解析

^○稲葉克彦¹，小林信太郎¹，八木信治²，松尾昌幸²，小池一歩²，原田義之²，佐々誠彦²，矢野満明² (リガク¹，大阪工大²)

キーワード：エピタキシャル成長,MoO3,結晶構造解析