2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

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一般セッション(口頭講演)

合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス » 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-1~16] 合同セッションK ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

2014年9月19日(金) 13:15 〜 17:45 A12 (E301)

15:15 〜 15:30

[19p-A12-8] ハライド気相成長法による酸化ガリウム成長の熱力学解析

○(D)野村一城1,後藤健2,富樫理恵1,村上尚1,熊谷義直1,倉又朗人2,山腰茂伸2,纐纈明伯1 (東京農工大院工1,タムラ製作所2)

キーワード:酸化ガリウム