[19p-A12-1~16] 合同セッションＫ ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス

[19p-A12-8] ハライド気相成長法による酸化ガリウム成長の熱力学解析

^○（D）野村一城¹，後藤健²，富樫理恵¹，村上尚¹，熊谷義直¹，倉又朗人²，山腰茂伸²，纐纈明伯¹ (東京農工大院工¹，タムラ製作所²)

キーワード：酸化ガリウム