[19p-A13-1~14] 7.1 X線技術

[19p-A13-11] リチウムＫ発光高感度分光計測のための軟Ｘ線高効率回折格子の設計

^○小池雅人¹，今園孝志¹，小枝勝²，長野哲也²，笹井浩行²，大上裕紀²，米澤善央²，倉本智史²，寺内正己³，高橋秀之⁴，飯田信雄⁴，村野孝訓⁴ (原子力機構原子力科学¹，島津製作所デバイス²，東北大多元研³，日本電子⁴)

キーワード：回折格子,軟X線発光分光,軟X線多層膜