[19p-A13-1~14] 7.1 X線技術

[19p-A13-6] EUV光源ターゲットとレーザー光の相互作用のモデル化

^○佐々木明¹，砂原淳²，西原功修³ (原子力機構¹，レーザー総研²，阪大レーザー研³)

キーワード：EUV光源,レーザープラズマ,シミュレーション