[19p-A13-1~14] 7.1 X線技術

△ [19p-A13-7] CO₂レーザー駆動SnプラズマのEUV放射効率化

^○（PC）松隈啓¹，吉田健祐¹，細田達矢¹，藤岡慎介¹，余語覚文¹，西村博明¹，佐藤英児²，染川智弘³，柳田達哉⁴ (阪大レーザー研¹，日本アドバンストテクノロジー²，レーザー総研³，ギガフォトン⁴)

キーワード：EUV光源