[19p-A14-1~16] 7.7 微小電子源

[19p-A14-14] 二層レジストを用いたMoスピント型エミッタの試作

^○長尾昌善，吉澤俊一，政岡文平 (産総研)

キーワード：フィールドエミッタアレイ,スピント型,イメージセンサ