[19p-A22-1~12] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-A22-11] オゾン酸化プロセスによる超伝導トンネル接合X線検出器のエネルギー分解能向上

^○浮辺雅宏，藤井剛，大久保雅隆 (産総研)

キーワード：Nb/Al アレイ素子,オゾンガス,高エネルギー分解能