[19p-A22-1~12] 11.4 アナログ応用および関連技術

[19p-A22-9] Si深掘り溝を利用した多量子ビーム検出器の作製

^○廣崎直也，成瀬雅人，田井野徹，明連広昭 (埼玉大院理工)

キーワード：溝