[19p-A25-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-A25-10] 硝酸酸化膜を用いるアンモニアプラズマによる基板Siの直接窒化防止とシリコン太陽電池の効率向上

^○松本健俊，廣瀬諒，小林光 (阪大産研、CREST-JST)

キーワード：シリコン,太陽電池,硝酸酸化