[19p-A25-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-A25-12] ミストCVD法により製膜したAlO_x膜のパッシベーション性能

^○井口功嗣^1,3，北野奨¹，三木祥平¹，小椋厚志^2,3，吉田晴彦^1,3，佐藤真一^1,3，新船幸二^1,3 (兵庫県立大¹，明治大²，JST-CREST³)

キーワード：AlOx