[19p-A25-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-A25-13] 熱アニールによるALD-AlOx膜のパッシベーション特性変化

^○今枝博紀^1,3，三木祥平¹，小椋厚志^2,3，吉田晴彦^1,3，佐藤真一^1,3，新船幸二^1,3 (兵庫県立大¹，明治大²，JST-CREST³)

キーワード：AlOx