[19p-A25-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

△ [19p-A25-14] ALD法で成膜したAlO_xパッシベーションのバンド構造評価

^○池野成裕^1,5，山下祥弘¹，陰地宏²，三木祥平³，新船幸二^3,6，吉田晴彦^3,6，佐藤真一^3,6，廣沢一郎²，知京豊裕⁴，小椋厚志^1,6 (明治大¹，高輝度光科学研究センター²，兵県大³，物材機構⁴，学振特別研究員⁵，JST-CREST⁶)

キーワード：パッシベーション