[19p-A25-1~16] 16.3 シリコン系太陽電池

[19p-A25-2] MOCVD法による薄膜シリコン太陽電池用ZnO透明導電膜の開発

^○（PC）前島圭剛¹，鯉田崇²，齋均²，松井卓矢²，吉田功¹ (PVTEC¹，産総研²)

キーワード：酸化亜鉛,透明導電膜,有機金属気相堆積法