[19p-A26-1~19] 14.4 光物性・発光デバイス

[19p-A26-19] 反応性RFスパッタ法によるZn₃N₂薄膜の形成におけるGa₂O₃添加の影響

^○岩田純一，平野祐，佐瀬宏樹，勝俣裕 (明大理工)

キーワード：ZnO,Zn3N2,Ga2O3