2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

2014年9月19日(金) 14:00 〜 18:45 A27 (N302)

17:30 〜 17:45

[19p-A27-13] β-FeSi2(100)//Si(001)エピタキシャル膜における偏光ラマンスペクトル

山口陽己,塚本裕明,服部哲,東貴彦,寺井慶和 (鹿児島大理工)

キーワード:シリサイド