[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

[19p-A27-14] β-FeSi₂多結晶薄膜における結晶欠陥と残留キャリア密度との相関

^○東貴彦，服部哲，塚本裕明，山口陽己，寺井慶和 (鹿児島大理工)

キーワード：シリサイド