[19p-A27-1~17] 14.1 探索的材料物性

△ [19p-A27-6] シリコン補給層を利用したガラス基板上BaSi₂単相蒸着膜の厚膜化

^○原康祐^1,2，中川慶彦¹，末益崇^2,3，宇佐美徳隆^1,2 (名大院工¹，JST-CREST²，筑波大院³)

キーワード：バリウムシリサイド,真空蒸着,太陽電池