[19p-A9-1~15] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [19p-A9-11] キレート剤を用いた大口径非鉛KNN圧電薄膜のウエットエッチング(II)

^○堀切文正，柴田憲治，末永和史，渡辺和俊，野口将希 (日立金属)

キーワード： 圧電,薄膜,エッチング