[19p-A9-1~15] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [19p-A9-14] BiFeO₃薄膜を用いた多自由度圧電MEMS振動発電素子の試作

^○苅谷健人¹，吉村武¹，村上修一²，藤村紀文¹ (阪府大院工¹，産技総研²)

キーワード：BiFeO3,振動発電,エナジーハーベスティング