[19p-A9-1~15] 6.1強誘電体薄膜，9.1誘電材料・誘電体のコードシェアセッション

△ [19p-A9-7] (Hf,Zr)O₂薄膜の電気特性と結晶構造の評価

^○白石貴久¹，片山きりは¹，横内達彦¹，清水荘雄¹，及川貴弘¹，内田寛²，舟窪浩¹ (東工大¹，上智大²)

キーワード：ferroelectricity,(Hf,Zr)O2