[19p-B1-1~9] 17.2 構造制御・プロセス

[19p-B1-1] ビア内カーボンナノチューブ選択成長のためのCMPプロセス開発

^○伊東伴，和田真，斎藤達朗，西出大亮，松本貴士，片桐雅之，渡邉勝仁，佐久間尚志，梶田明広，酒井忠司 (超低電圧デバイス技術研究組合)

キーワード：Carbon nanotube