2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

17.ナノカーボン » 17.1 成長技術

[19p-B3-1~16] 17.1 成長技術

2014年9月19日(金) 13:15 〜 17:30 B3 (ホール)

15:30 〜 15:45

[19p-B3-9] 多層グラフェンのエピタキシャル触媒膜厚依存性とその電気特性

近藤大雄1,2,中野美尚1,周波1,井亜希子1,林賢二郎1,2,佐藤信太郎1,2,横山直樹1,2 (産総研1,富士通研2)

キーワード:graphene,配線,CVD