[19p-B3-1~16] 17.1 成長技術

[19p-B3-9] 多層グラフェンのエピタキシャル触媒膜厚依存性とその電気特性

^○近藤大雄^1,2，中野美尚¹，周波¹，井亜希子¹，林賢二郎^1,2，佐藤信太郎^1,2，横山直樹^1,2 (産総研¹，富士通研²)

キーワード：graphene,配線,CVD