2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

シンポジウム(口頭講演)

分科企画シンポジウム » 窒化物半導体特異構造の科学〜物性評価と結晶学の構築へ〜

[19p-C5-1~12] 窒化物半導体特異構造の科学〜物性評価と結晶学の構築へ〜

2014年9月19日(金) 13:15 〜 18:00 C5 (オープンホール)

17:00 〜 17:15

[19p-C5-10] イオンビームアシストMBEによる立方晶BN(111)薄膜の高品質化

平間一行,谷保芳孝,狩元慎一,山本秀樹 (NTT物性研)

キーワード:立方晶窒化ホウ素,ダイヤモンド,イオンビームアシストMBE