[19p-PA2-1~6] 7.5 ビーム・光励起表面反応

[19p-PA2-1] ナノ秒パルスレーザー照射によるAu/Si複合表面ナノ構造の作製

^○吉田裕^1,2，渡辺精一²，大西広^3,1，松尾保孝³，加藤隆彦⁴ (北大創成¹，北大工エネマテ²，北大電子研³，日立日立研⁴)

キーワード：ナノ秒パルスレーザー,複合表面ナノ構造