16:00 〜 18:00
[19p-PA4-4] 汎用マグネトロンスパッタ装置で形成したＩＴＯナノワイヤの電気特性と微細構造
キーワード：インジウム錫酸化物,ナノワイヤ,マグネトロンスパッタ
講演情報
一般セッション(ポスター講演)
09．応用物性 » 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子
[19p-PA4-1~15] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子
2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PA4 (第1体育館)
ポスター掲示時間16:00～18:00(PA4会場)
一般セッション(ポスター講演)
09．応用物性 » 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子
2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PA4 (第1体育館)
ポスター掲示時間16:00～18:00(PA4会場)
16:00 〜 18:00
キーワード：インジウム錫酸化物,ナノワイヤ,マグネトロンスパッタ