2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

[19p-PB1-1~7] 14.2 超薄膜・量子ナノ構造

2014年9月19日(金) 13:30 〜 15:30 PB1 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB1会場)

13:30 〜 15:30

[19p-PB1-1] CoSi2バッファ層の導入によるSi上CdF2層の高温成長

高橋慶太,高橋剛,筒井一生 (東工大総理工)

キーワード:結晶成長,超薄膜,弗化物