[19p-PB2-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-PB2-19] 種々の形状の埋め込みゲートを有するInAlAs/InGaAs HEMTのモンテカルロ計算

^○遠藤聡^1,2，渡邊一世¹，笠松章史¹，三村高志^1,2 (情報通信研究機構¹，富士通研²)

キーワード：HEMT,モンテカルロ計算