2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

14.半導体B(探索的材料・物性・デバイス) » 14.3 電子デバイス・プロセス技術

[19p-PB2-1~19] 14.3 電子デバイス・プロセス技術

2014年9月19日(金) 13:30 〜 15:30 PB2 (第2体育館)

ポスター掲示時間13:30~15:30(PB2会場)

13:30 〜 15:30

[19p-PB2-5] C-t法によるAlGaN/GaNヘテロ構造のターンオン回復特性評価

中野由崇1,色川芳宏2,角谷正友2,八木修一3,河合弘治3 (中部大工1,物材機構2,パウデック3)

キーワード:AlGaN/GaNヘテロ構造,ターンオン回復特性,欠陥準位