2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[19p-PB5-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PB5会場)

16:00 〜 18:00

[19p-PB5-13] 有機ゲルマニウム材料を用いたSi基板上Ge/GaAs一括MOVPE成長の検討

荒井昌和,中尾亮,神徳正樹 (NTTフォトニクス研)

キーワード:シリコン,ゲルマニウム,結晶成長