PDF ダウンロード スケジュール 11 いいね! 0 16:00 〜 18:00 [19p-PB5-13] 有機ゲルマニウム材料を用いたSi基板上Ge/GaAs一括MOVPE成長の検討 ○荒井昌和,中尾亮,神徳正樹 (NTTフォトニクス研) キーワード:シリコン,ゲルマニウム,結晶成長