2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[19p-PB5-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PB5会場)

16:00 〜 18:00

[19p-PB5-14] Si(111)上でのGaSbヘテロエピタキシーとHfO2/GaSb MOSキャパシタの作製

大竹晃浩1,宮田典幸2,間野高明1,森貴洋2,安田哲二2 (物材機構1,産総研2)

キーワード:ヘテロエピタキシー,MOSキャパシタ