2014年第75回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

15.結晶工学 » 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[19p-PB5-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

2014年9月19日(金) 16:00 〜 18:00 PB5 (第2体育館)

ポスター掲示時間16:00~18:00(PB5会場)

16:00 〜 18:00

[19p-PB5-16] 直接貼付InP/Glass基板上選択MOVPE成長により形成されたInP系導波路の断面形状評価

○(M1)岸川純也,松本恵一,金谷佳則,下村和彦 (上智大)

キーワード:有機金属気相成長法,直接貼付法