[19p-PB5-1~16] 15.3 III-V族エピタキシャル結晶

[19p-PB5-7] MOVPE法によるGaN基板上のウルツ鉱構造AlGaP作製の試み

^○平谷佳大¹，石坂文哉¹，冨岡克広^1,2，福井孝志¹ (北大院情報科学および量子集積センター¹，JSTさきがけ²)

キーワード：MOVPE